单晶硅片
单晶硅片是硅的单晶体,是一种具有基本完整点阵结构的晶体,不同方向具有不同性质,是良好的半导材料。
单晶硅片的制作工艺:通常先制得多晶硅或无定形硅,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅,再经过切割、研磨、抛光等一系列加工工序制成单晶硅片。
单晶硅片的特性优势
电学性能:具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,电导率随温度升高而增加,有显著的半导电性。
机械性能:单晶硅片具有较高的机械强度,能够承受一定的压力和拉力,不易破裂,有利于在各种复杂的工艺过程中进行加工和处理。
化学性质:在常温下,单晶硅片对大多数化学物质具有较好的稳定性,不易被腐蚀和氧化,这使得它在长期使用过程中能够保持性能的稳定。
高纯度和均匀性:单晶硅片的纯度要求达到 99.9999%,甚至达到 99.9999999% 以上,且内部原子排列整齐有序,具有高度的均匀性,能够保证半导体器件的性能一致性和可靠性。